SW系列晶圓對(duì)準(zhǔn)/鍵合/解鍵合設(shè)備
Newport HXP 系列六足位移臺(tái)
PI 六軸小型六足位移臺(tái)
高精度連續(xù)旋轉(zhuǎn)直驅(qū)轉(zhuǎn)臺(tái)
納米級(jí)定位精度垂直運(yùn)動(dòng)Z向平臺(tái)
堆疊式多軸系統(tǒng)（Stacked System）
復(fù)合式二維平臺(tái)（Planar Platform）
磁浮多軸運(yùn)動(dòng)臺(tái)（Maglev Multi-axis Stage）
多軸微動(dòng)臺(tái)（MZ3T Stage）
磁懸浮垂向與旋轉(zhuǎn)臺(tái)
二維精密轉(zhuǎn)臺(tái)（Gimbal Stage）
平面式運(yùn)動(dòng)臺(tái)（Planar-Series XY Stage）
交叉十字XY 臺(tái)（Cross-Series XY Stage）
垂向臺(tái)（Lift and Z Stage）
單軸直線運(yùn)動(dòng)臺(tái)
一維轉(zhuǎn)臺(tái)（Rz Stage）
SinguLYS™ Single Axis Air Bearing Stages
HybrYX™ G5 大型基板定位空氣軸承平移臺(tái)
HybrYX™ XY 混合空氣軸承 XY 平移臺(tái)
DynamYX® RS 分劃板定位空氣軸承平移臺(tái)
DynamYX® 300 晶片定位空氣軸承平移臺(tái)
DynamYX® GT 空氣軸承平移臺(tái)
DynamYX® DATUM® 超高性能空氣軸承平移臺(tái)
智能直驅(qū)傳輸系統(tǒng)（IDTS）
光學(xué)測(cè)量方案
半導(dǎo)體設(shè)備方案
運(yùn)動(dòng)模組
直線電機(jī)
圓筒/平板/磁浮/水冷音圈電機(jī)
帶有無(wú)刷電機(jī)的 IDL-BL 中行程工業(yè)線性平移臺(tái)
