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    2. 產(chǎn)品中心
      3. 
  
    3. 半導(dǎo)體微電子
      4. 
  
    4. 半導(dǎo)體微電子系統(tǒng)及部件
      5. 

    

    

    


 


    

 
    
 
 超精密運動臺 | 
 
 音圈電機/直線電機/運動模組 | 
 
 線性平移臺 | 
 
 Air Bearing系統(tǒng) | 
 
 解決方案 | 
 
 
    
 
    
 
 
    帶有無刷電機的 IDL-BL 中行程工業(yè)線性平移臺
    

 
    XM 線性電機平移臺
    

 
    One-XY 中行程集成 XY 線性平移臺
    

 
    IMS-LM 長行程線性電機平移臺
    

 
    IDL-V 工業(yè)級電動垂直位移臺
    

 
    IDL 長行程工業(yè)級線性平移臺
    

 
    

    
    
    
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