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    2. 產(chǎn)品中心
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    3. 半導體微電子
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    4. 半導體微電子系統(tǒng)及部件
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 超精密運動臺 | 
 
 音圈電機/直線電機/運動模組 | 
 
 線性平移臺 | 
 
 Air Bearing系統(tǒng) | 
 
 解決方案 | 
 
 
    
 
    
 
 
    SinguLYS™ Single Axis Air Bearing Stages
    

 
    HybrYX™ G5 大型基板定位空氣軸承平移臺
    

 
    HybrYX™ XY 混合空氣軸承 XY 平移臺
    

 
    DynamYX® RS 分劃板定位空氣軸承平移臺
    

 
    DynamYX® 300 晶片定位空氣軸承平移臺
    

 
    DynamYX® GT 空氣軸承平移臺
    

 
    DynamYX® DATUM® 超高性能空氣軸承平移臺
    

 
    

    
    
    
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